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一、超声波清洗原理:超声波清洗机原理主要是基于超声频振动在液体中产生的交变冲击波和空化作用。在超声清洗中,换能器将电源所提供的电能转变为超声机械振动,并将此振动传到清洗液中。当液体中有声波传播时,会产生空化现象,空化核在周围产生上千个大气压,破坏不溶性污物而使它门分散于清洗液中。蒸汽型空化对污层的直接反复冲击,十方面破坏污物与清洗件表面的吸,另一方面也会引起污物层的破坏而脱离。气体型气泡的振动能对固体表面进行擦洗,污层旦有缝可钻,气泡还能“钻入”裂缝中作振动,使污层脱落。由于超声空化作用,两种液体在界面迅速分散而乳化。当固体粒子被油污裹着而黏附在清洗件表面时,油被乳化,固体粒子即声流和辐射压是大振幅波在煤质中传播时产生的非线性现象。空化气泡在振荡过程中会液体媒质本身产生一种环流,即所谓声流,它可使动气泡表面处存在很高的速度梯度和应力,促使清洗件表面污物的破坏和脱落。由于超声空化在固体和液体的界面上所产生的高速微射流能够去除或削弱边界污层,腐蚀固体表面,增加搅作用,加速可溶性污物的溶解,强化化学清洗剂的请洗作用,此外,超声振动在清洗液中时起质点很大的振动速度和加速度,亦使洗件表面的污物受到频繁而激烈的冲走。上述作用机理可以理解为,当超声波清洗就中传播时，会产生空化，辐射压，声流等物理效应。物理效应对污物有机械剥落作用,同时能促进清洗液与污物的化反应,其中空化效应在产生超声清洗过程起到主要的作用。
二、超声波清洗机工作原理:超声波清洗机原理：简单的超声波清洗机由超声波发生器和清洗器(槽)两大部分组成。高频振荡器产生超声频电流,传给换能器(由绕有线圈的环状镍块组成),超声频电流通过换能器线圈时产生电磁场,在电磁场作用下,换能器镍环的直径大小周期性的变化而发生振动,振动频率约20千周。超声波振动通过与换能器连接的液体容器底部而传播到液体内,对产品进行清洗。
三、影响超声波清洗机清洗效果的因素:一般来说,超声效果与超声的条件(如功率、频率、温度、压力)及超声时间有关,与清洗液的选择也有关。例如,在外延生长前对硅片采用洗液、硫酸和水的超声清洗时,超声功率高于250W时才能达到较好的清洗效果。
四、超声波清洗机使用方法:不同型号的超声波清洗仪,在使用上有不同的要求,应按清洗机说明书的要求进行安装使用,使用方法大概如下：
1.先将发生器和清洗槽连接好,接上电源。2.清洗槽内倒入清水,约20—40毫米深。3.打开电源开关,指示灯亮,预热1—2分钟后可开始工作(有的机器要先开低压,预热10分钟后,再开高压开关)。4.旋转功率调节旋钮,使振动和气泡大,此时指示电流表读数也接近大。然后再调节功率,使清洗机进入正常工作。5.把盛有硅片和清洗液的烧杯放入清洗槽中,即可进行硅片的清洗。