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东南大学微电子机械系统重点实验室
南京理工大学MEMS惯性技术研究中心 军工的
华中科技大学微系统研究中心
西北工业大学微纳米系统实验室
厦门大学萨本栋微纳米技术研究中心
北京大学微电子研究院微机电系统研究所
清华大学微电子学研究所微纳器件与系统研究室
上海交通大学微纳科学技术研究院
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