光刻机国产排名第一的是哪个厂？

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光刻机国产排名第一的厂是上海微电子装备股份有限公司。

上海微电子装备股份有限公司是中国领先的半导体设备制造商，专注于研发、制造和销售半导体微影设备，其中包括光刻机。该公司在光刻机领域拥有显著的技术实力和市场份额，其成功研发出90nm、110nm、280nm和55nm等多个系列的国产光刻机，这些设备已广泛应用于集成电路、平板显示、微电子等重要领域。

从技术积累和创新能力来看，上海微电子装备股份有限公司在国产光刻机行业中处于领先地位。其持续投入研发，不仅提升了光刻机的性能和质量，还推动了相关技术的不断进步，为国产光刻机产业的发展做出了重要贡献。

此外，上海微电子装备股份有限公司的市场表现也印证了其领先地位。随着国内半导体市场的快速发展和对高端设备需求的增加，该公司的光刻机产品受到了众多客户的认可和青睐，市场份额持续扩大。

综上所述，上海微电子装备股份有限公司凭借其在技术、创新和市场等方面的综合优势，稳坐国产光刻机排名第一的宝座。