sem基本参数

Answer 1

SEM（扫描电子显微镜）的工作原理独特，不同于传统光学显微镜，其放大率的控制并非通过透镜，而是通过调整扫描区域的大小。放大率的计算方式是通过屏幕或照片面积除以扫描区域的面积。想要提升放大率，只需缩小扫描范围即可。

SEM的另一个关键特性是场深，即焦平面上下能清晰成像的样品层厚度，通常只有几纳米。这使得SEM特别适合于纳米级样品的三维成像。它不仅能观察样品表层，还能检测到一定厚度范围内的原子作用，这个范围称为作用“体积”，具体为：欧革电子作用深度0.5至2纳米，次级电子5λ（对于导体，λ为1纳米，绝缘体，λ为10纳米），背散射电子则大约是次级电子的10倍，而特征X射线和X射线连续谱的深度则在微米级。

工作距离，即物镜到样品最高点的垂直距离，对成像和分析也有影响。增加工作距离可以增大场深，但分辨率可能会降低；反之，减小工作距离能提高分辨率，但可能影响场深。常规操作中，工作距离一般维持在5到10毫米之间。

在成像方面，次级电子和背散射电子是常用手段，但次级电子效果更好，通常优先选择。表面分析则是SEM的重要应用，欧革电子、特征X射线和背散射电子的产生与样品原子性质相关，因此可用于成分分析，但由于电子束只能穿透表面浅层，因此主要限于表面分析。特征X射线分析是最常见的方法，常用能谱分析仪和波谱分析仪进行，能谱分析仪速度快但精度相对较低，而波谱分析仪虽然精确，但分析时间较长。

扩展资料

扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的入射电子轰击物质表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时，也可产生电子-空穴对、晶格振动 （声子）、电子振荡 （等离子体）。原则上讲，利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。