激光位移传感器的工作原理是什么

Question

请详细一点。

Answer 1

激光位移传感器，也可被称为外轮廓激光传感器。采用激光三角反射式原理，采集不同材质表面的二维轮廓信息。通过特殊的透镜组，激光束被放大形成一条静态激光线投射到被测物体表面上。激光线在被测物体表面形成漫反射，反射光透过高质量光学系统，被投射到敏感感光矩阵上。除了传感器到被测表面的距离信息(Z轴)，控制器还可以通过图像信息计算得出沿着激光线的位置信息(X轴)。以传感器为原心的二维坐标系内，轮廓仪测量输出一组二维坐标值。移动被测物体或轮廓仪探头，就可以得到一组三维测量值。

Answer 2

补充一种新型测量方法：非线性调频连续波调制解调（FMCW）技术结合光学相干接收原理的方法。
基于世界领先的硅基光电集成技术，把相干检相光路和参考光路集成在微小的芯片里。由于采用相干接收，可在有烟雾、光、粉尘等环境干扰的情况下，仍然能达到很高精度的相位测量。采用非线性调制解调技术，使低成本且精确的光学调制成为可能，通过与精确控制的参考波导光路进行比对，可实现微米级的远距准确测距。
这是非线性调频连续波及相干接收方法的原理图与三角法原理的对比：
目前采用这种新型测量方法的公司是挚感光子。