光栅尺是怎么制造出来的？

Question

光栅尺精度这么高，那是怎么制造出来的呢？比其精度高的检测手段一般有那些？谢谢！

Answer 1

光栅是在玻璃或钢带尺上制作的一系列条纹和狭缝，条纹和狭缝的距离是一样的，一个条纹和一个狭缝的宽度称为栅距，栅距可以做到20um,读数头每扫描一个栅距，就产生一个正弦波信号周期，此信号还要通过一个电子电路进行细分，5，10，50，100倍的细分，所以可以达到很高的分辨率。

Answer 2

光栅尺只是一个反馈系统。比如步进电机配合滚珠丝杠平台也可以加光栅尺作为反馈。直线电机，音圈电机这是必须用光栅尺做反馈的。为了实现全闭环，有时用了伺服电机之后，也会在机构上加光栅尺。 一般是选好电机，根据机构要求的精度，配合着选合适的光栅尺形成闭环反馈。
光栅尺位移传感器按照制造方法和光学原理的不同，分为透射光栅和反射光栅。 透射光栅指的光源与接收装置分别放置在光栅尺的两侧，通过接收光栅尺透过来的衍射光变化来反应位置变化。比较通用的是玻璃光栅。. 反射光栅指的是光源与接收装置安装在光栅尺的同一侧，通过接收光栅尺反射回来的衍射光变化来反应位置变化。
比较通用的有钢带光栅和玻璃光栅。装置结构光栅尺位移传感器是由标尺光栅和光栅读数头两部分组成。标尺光栅一般固定在机床活动部件上，光栅读数头装在机床固定部件上，指示光栅装在光栅读数头中。光栅检测装置的关键部分是光栅读数头，它由光源、会聚透镜、指示光栅、光电元件及调整机构等组成。