EDS和XRF的区别?

如题所述

一、EDS是利用不同元素的X射线光子特征能量不同进行成分分析,EDX是借助于分析试样发出的元素特征X射线波长和强度实现的,这两者的结构完全不同。

EDS能量色散谱仪,按能量展谱,主要器件为Li-Si半导体探测器.主要利用X光量子的能量不同来进行元素分析。

EDX:Energy Dispersive X-Ray Fluoresence Spectrometer 能量色散X射线光谱仪。

两者联系:都是一种测试仪器。

二、ED-XRF是EDX的一种,ED-XRF即能量色散型X射线荧光光谱仪。

X射线荧光光谱仪是基于偏振能量色散X荧光光谱仪(ED-XRF)的分析方法。X射线管或放射性同位素源中发出的X射线激发固体、液体、粉末样品中的原子。


扩展资料:

EDS英文全称:Energy Dispersive Spectroscopy

原理:利用不同元素的X射线光子特征能量不同进行成分分析。

与WDS(波谱仪)相比,EDS(能谱仪)具有以下优缺点:

优点:

(1)能谱仪探测X射线的效率高。

(2)在同一时间对分析点内所有元素X射线光子的能量进行测定和计数,在几分钟内可得到定性分析结果,而波谱仪只能逐个测量每种元素特征波长。

(3)结构简单,稳定性和重现性都很好。

(4)不必聚焦,对样品表面无特殊要求,适于粗糙表面分析。

缺点:

(1)分辨率低.

(2)能谱仪只能分析原子序数大于11的元素;而波谱仪可测定原子序数从4到92间的所有元素。

(3)能谱仪的Si(Li)探头必须保持在低温态,因此必须时时用液氮冷却。

参考资料:百度百科:EDS 百度百科:EDX 百度百科:XRF

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