硅压阻式压力传感器原理图

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压阻式压力传感器的基本原理是惠斯顿电桥,输出差分电压。如下图:

对于硅压阻式压力传感器来说,由于材料的特性,该电桥上的四个电阻都存在温度系数,并且,压敏系数也存在温度系数,且小于零。所以,必须要温度补偿。该类传感器在恒流供电和恒压供电时,对于灵敏度的温度漂移有很大的差别。

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硅压阻式压力传感器原理图
压阻式压力传感器的基本原理是惠斯顿电桥,输出差分电压。如下图:对于硅压阻式压力传感器来说,由于材料的特性,该电桥上的四个电阻都存在温度系数,并且,压敏系数也存在温度系数,且小于零。所以,必须要温度补偿。该类传感器在恒流供电和恒压供电时,对于灵敏度的温度漂移有很大的差别。

求压阻式传感器原理以及原理图?
图4-18是压阻式压力传感器的典型应用电路。该电路由Ai,VDi,VTi和Ri构成恒流源电路对电桥供电,输出1.5 mA的恒定电流。为了保证测量电路的精度,在测量电路中设置了由VD3和~组成的温度补偿电路,其原理是利用硅二极管对温度很敏感而作为温度补偿无件。一般二极管的温度系数为-2 mV\/℃。调节Wl可获得...

哪位高人能提供压阻式压力传感器的原理图和连接方法
压阻式压力传感器是基于半导体材料(单晶硅)的压阻效应原理制成的传感器,就是利用集成电路工艺直接在硅平膜片上按一定晶向制成扩散压敏电阻,当硅膜片受压时,膜片的变形将使扩散电阻的阻值发生变化。硅平膜片上的扩散电阻通常构成桥式测量电路,相对的桥臂电阻是对称布置的,电阻变化时,电桥输出电压与膜片所...

压阻式压力传感器的原理
在膜片上利用集成电路工艺方法扩散上四个阻值相等的P型电阻。用导线将其构成平衡电桥。膜片的四周用圆硅环(硅杯)固定,其下部是与被测系统相连的高压腔,上部一般可与大气相通。在被测压力P作用下,膜片产生应力和应变。膜片上各点的应力分布由式(2-20)和式(2-21)给出。当时,径向应力为零...

硅压阻式压力传感器的组成部分
硅压阻式压力传感器都由3个基本部分组成(图3.2):①基体,直接承受被测应力;②波纹膜片,将被测应力传递到芯片;③芯片,检测被测应力。芯片是在硅弹性膜片上,用半导体制造技术在确定晶向制作相同的4个感压电阻,将他们连成惠斯通电桥构成了基本的压力敏感元件。膜片即是力敏电阻的衬底,又是外加...

压阻式传感器压阻式压力传感器的结构
压阻式传感器的构造独特且精密,它将电阻条巧妙地集成在单晶硅膜片上,通过集成工艺制成硅压阻芯片。这个芯片被安置在坚固的外壳中,引出电极引线以进行信号传输(参见图1)。与传统的粘贴式应变计不同,压阻式压力传感器是直接感知压力的固态传感器。其工作原理是,硅膜片的一面与被测压力相连,形成高压腔...

机油压力传感器MEMS详细介绍
二、MEMS压力传感器原理目前的MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器,两者都是在硅片上生成的微机械电子传感器。硅压阻式压力传感器是采用高精密半导体电阻应变片组成惠斯顿电桥作为力电变换测量电路的,具有较高的测量精度、较低的功耗和极低的成本。惠斯顿电桥的压阻式传感器,如无压力变化...

压阻式传感器的结构
这种传感器采用集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成硅压阻芯片,并将此芯片的周边固定封装于外壳之内,引出电极引线(图1)。压阻式压力传感器又称为固态压力传感器,它不同于粘贴式应变计需通过弹性敏感元件间接感受外力,而是直接通过硅膜片感受被测压力的。图1 中硅膜片的一面是与被测压力连通的高压...

压阻式传感器
压阻式压力传感器又称为固态压力传感器,它不同于粘贴式应变计需通过弹性敏感元件间接感受外力,而是直接通过硅膜片感受被测压力的。图1 中硅膜片的一面是与被测压力连通的高压腔,另一面是与大气连通的低压腔。硅膜片一般设计成周边固支的圆形,直径与厚度比约为20~60。在圆形硅膜片(n型)定域扩散4条...

进气歧管绝对压力传感器的结构与工作原理?
1.压阻效应式进气歧管绝对压力传感器 图2-17所示为压阻效应式进气歧管绝对压力传感器,主要由压力转换元件、混合集成电路、真空室、壳体和线束插接器组成。图2-18所示为压阻效应式进气歧管压力传感器的内部结构,主要由硅膜片、真空室、硅杯、底座、真空管接头和引线电极等组成。通过特殊加工,使4个电阻...

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