XRF荧光光谱测得的元素总量准确吗？EDS测的是什么的含量，是表面测量还是整个试样的含量？

Question

麻烦详细说明哈

Answer 1

XRF荧光光谱取样面积大，一般来说是近似整个材料中的含量。
EDS的用途主要是区分固体内部微观尺度不同结构的成分差异，单个像素，纵向可探测材料表面以下几个微米深度区域的平均成分，横向与探测深度相当。微观结构的成分往往就不能代表整体成分，和整体元素含量差别会很大。
EDS也可以选取扫描来测试更大区域的平均成分，在扫描电镜很低放大倍数戏啊，探测最大区域可达到100mm²。可以粗略知晓材料的主要成分含量。

Answer 2

性能无疑是评估光谱仪非常重要的指标性能优异的光谱仪做筛选检测能准确无误地排查合格和不合格，并将不确定的灰色部分压缩到最小；

有的光谱仪铅砷不分、镉的特徵谱线与X光管铑电极的特徵谱线重叠等。经常误判；

有的光谱仪检测镉的灵敏度不够高，不能准确判定镉；

大部分光谱仪的检测稳定性受到X光管老化、环境温度、电源波动等影响，使数值不准。

由於性能不足，可能发生错判、误判、无法判定等事件频发，不确定的灰色部分比例大增。其後果必然是成本显著提高、风险增加。