XPS原始数据分峰拟合教程-科学指南针

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对于科研人员来说，处理XPS、XRD或IR等实验的原始数据是一项基础任务。这篇教程将为你揭秘如何轻松完成XPS分峰拟合，让你不再感到迷茫。

首先，打开XPS高分辨谱的".xls"原始数据，你会看到包含特定元素的谱图和半定量分析数据，如图1所示。

在开始分峰拟合之前，需进行荷电校准，通常用碳1s峰（284.8 eV）为基准，通过"Origin/Excel/Avantage"等工具调整。例如，如果C1s峰的结合能为284.7 eV，校正值为0.1 eV，这意味着所有元素的结合能需相应增加。

接下来，用PeakFit软件进行数据处理。将校正后的数据转换为".txt"或".xls"格式，导入软件并选择要拟合的区间，如O1s数据（如图3）。PeakFit界面提供了丰富的工具，如选择拟合方法、调整谱峰区间、建立基准线等步骤，如图4、5和6所示。

在拟合过程中，需仔细调整参数，如删除多余峰（图8和9），并重复迭代直到达到理想拟合（图10）。最后，保存拟合结果并导出数据（图11和12）。

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