电子显微镜种类

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电子显微镜是观察微观世界的重要工具，根据其结构和用途，主要分为透射式电子显微镜、扫描式电子显微镜、反射式电子显微镜和发射式电子显微镜等。透射式电子显微镜常用于观察细小物质结构，扫描式电子显微镜主要用于观察固体表面形貌，同时可结合X射线衍射仪或电子能谱仪进行物质成分分析，而发射式电子显微镜则用于研究自发射电子表面。

透射电子显微镜的命名源于其成像原理，即电子束穿透样品后，通过电子透镜成像放大。这类电子显微镜具有与光学显微镜类似的光路，可以直接获得样本投影，通过调整物镜系统可直接放大物镜焦点的像，从而分析样本的晶体结构。图像对比度由样品原子对电子束的散射形成。样本的厚度与原子量、加速电压和分辨率密切相关，原子量越高、电压越低，样本需越薄。样品较薄或密度较低的部分电子散射较少，图像较亮；反之，较厚或较密的部分则较暗。

透射式电子显微镜的镜筒顶部设有电子枪，电子由钨丝热阴极发射并通过聚光镜聚焦。电子束穿过样品后由物镜成像于中间镜，再通过中间镜和投影镜逐级放大，成像于荧光屏或照相干版上。中间镜通过调节励磁电流实现放大倍数变化，从几十倍到几十万倍不等。改变中间镜焦距，可在同一部位获得电子显微像和电子衍射图像。为研究较厚金属切片，超高压电子显微镜应运而生，加速电压可达3500千伏。

能量过滤透过式电子显微镜在测量电子通过样本时的速度改变中，推测样本化学组成，如元素分布。扫描电子显微镜的电子束不穿透样品，仅聚焦在样本表面，通过次级电子的散射成像，实现对固体表面形貌的观察，分辨率主要取决于电子束直径。扫描式电子显微镜使用扫描线圈控制电子束在样品表面的扫描，放大倍数可从几十倍到几十万倍，不需要薄样品，图像具有很强的立体感。此外，扫描式电子显微镜可利用电子束与物质相互作用产生的信息分析物质成分。

场发射扫描电子显微镜是一种较为简单的扫描电子显微镜，其原理是观察在强电场作用下导致的场发射所散发出来的电子。扫描透射电子显微镜则专门用于观察透过样本的扫描电子。

扩展资料

电子显微镜常用的有透射电镜（transmissionelectronmicroscope，TEM）和扫描电子显微镜（scanningelectronmicroscope,SEM）。与光镜相比电镜用电子束代替了可见光，用电磁透镜代替了光学透镜并使用荧光屏将肉眼不可见电子束成像。与光镜相比电镜用电子束代替了可见光，用电磁透镜代替了光学透镜并使用荧光屏将肉眼不可见电子束成像。